Машкова Е.С., Молчанов В.А. - Применение рассеяния ионов для анализа твердых тел

Скачать

Машкова Е.С., Молчанов В.А. - Применение рассеяния ионов для анализа твердых тел

Применение рассеяния ионов для анализа твердых тел- Год: 1995

Автор: Машкова Е.С., Молчанов В.А.

Жанр: Физика

Издательство: Энергоатомиздат

ISBN: 5-283-03979-X

Язык: Русский-Формат: DjVu

Качество: Отсканированные страницы + слой распознанного текста

Количество страниц: 176-Описание: Впервые систематизированы исследования, относящиеся к применению ионно-рассеивательной спектроскопии и спектроскопии атомов отдачи для анализа объемных и поверхностных свойств твердых тел. Рассматриваются физические основы этих методов. Описана типичная аппаратура. Приведены результаты исследования состава, атомной структуры, морфологии и динамических свойств твердых тел.

Для научных работников и инженеров в области физической электроники, радиационной физики твердого тела, микроэлектроники, физики плазмы, аналитического приборостроения, а также для аспирантов и студентов соответствующих специальностей.-Опубликовано группой -

[url= ] [/url][url= ] [/url]

Предисловие 3

Глава 1. Основные физические принципы взаимодействия 1юнов с твердым тером 4

1.1. Кинематические и динамические соотношения элементарного акта

рассеяния 4

1.2. Двухчастичные потенциалы взаимодействия 8

1.3. Перераспределение потока частиц при взаимодействии с рассеивающим

центром 12

1.4. Торможение частиц при движении в твердом теле 14

1.5. Процессы зарядового обмена 17

1.6. Влияние упорядоченного расположения атомов твердого тела на

движение ионов и атомов отдачи 23

Глава 2. Модели, лежащие в основе аналитических методов 25

2.1. Схема процессов 25

2.2. Модель одного отклонения 26

2.3. Двухатомная модель рассеяния 27

2.4. Модель плотноупакованного изолированного атомного ряда 30

2.5. Модели канала и поверхностного полуканала 33

2.6. Модели образования атомов отдачи 34

2.7. Тепловые колебания 36

2.8. Модель рассеяния трехатомным фрагментом атомного ряда с учетом

тепловых колебаний 38

2.9. Модель испускания атомов отдачи из трехатомного фрагмента атомного

ряда с учетом тепловых колебаний 41

2.10. Модель рассеяния атомным рядом с учетом тепловых колебаний 43

Глава 3. Компьютерные методы 46

3.1. Методы моделирования 46

3.2. Основополагающие программы 48

3.3. Специализированные программы 50

Глава 4. Аппаратура для анализа твердых тел при помощи рассеяния ионов и

атомов отдачи 52

4.1. Аппаратура для анализа при помощи обратного резерфордовского

рассеяния и быстрых атомов отдачи 52

4.2. Аппаратура для анализа при помощи рассеяния ионов низких энергий

и атомов отдачи 56

4.3. Отечественные промышленные установки для анализа при помощи

рассеяния ионов низких энергий и атомов отдачи 62

Глава 5. Анализ элементного состава 66

5.1. Основные принципы и особенности 66

5.2. Исследование процессов адсорбции, десорбции и сегрегации 75

5.3. Анализ многослойных и многокомпонентных структур 82

Глава 6. Анализ структуры 91

6.1. Особенности структурного анализа 91

6.2. Исследование релаксации 95

6.3. Исследование реконструкции поверхностей 104

6.4. Положение адсорбированных атомов 110

6.5. Исследование границ раздела 113

6.6 Анализ макроскопического рельефа поверхности 117

Глава 7. Исследование динамических свойств 119

7.1. Тепловые колебания атомов решетки 119

7.2. Фазовые переходы 123

13. Нанесение покрытий 128

Глава 8. Определение потенциалов межатомного взаимодействия методом

ионно-рассеивательной спектроскопии 136

8.1. Обратная задача рассеяния 136

8.2. Определение потенциала межатомного взаимодействия из данных по

поверхностному рассеянию 140

Приложение 1. Таблицы значений рассеяния наибольшего сближения, угла

рассеяния, энергии, переданной в столкновении, интеграла времени и

эффективного дифференциального сечения рассеяния для потенциала двухчастичного

взаимодействия Циглера-Бирзака-Литтмарка (ZBL) 146

Приложение 2. Сравнительные возможности методов элементного анализа

поверхностей твердых тел [68] 165

Список литературы 168

Скачать